• 設備效率

• ≥20ppm（cell）

• 平臺高度

• 950mm ±30mm

• 一次優率

• ≥99.9%

• 故障率

• ≤1%

• 設備電壓

• AC380V±10V

• 額定功率

• 18KW

• 設備氣壓

• 0.5Mpa～0.7Mpa